奥普士OPTEX的传感器产品在半导体行业的应用案例

以下是一些日本奥普士 OPTEX 的传感器产品在半导体行业的应用案例：

激光位移传感器 CD2H 系列

测量搬运机器人手臂下垂量：该系列传感器可用于测量搬运机器人手臂的下垂量，其测量范围可达 1200mm，精度高，且兼容 IO - link，能轻松获取更精确的测量值，有助于确保机器人在搬运半导体晶圆等精密部件时的准确性和稳定性。

测量精细陶瓷板厚度：可同时在精细陶瓷板的四个角和中心五个位置进行厚度测量，使用 30mm 短程型用于四个角，130mm 中程型用于中心。其最高重复性为 0.25µm，能保证高精度测量，并且可通过专用免费软件即时记录测量值，为陶瓷板在半导体制造中的应用提供质量保障。

超高精度激光位移传感器 CDX 系列

切割锯片挠度测量：CDX - 30A 等型号的激光位移传感器，光斑尺寸为 ø30µm，可用于测量切割锯片的侧面和窄端面，不仅能高精度测量宽度，还能测量高度，从而对切割锯片的挠度进行精确监测，有助于及时发现锯片的变形情况，保证半导体晶圆切割的精度。

紧凑型低成本位移传感器 CD33 - L30

晶圆定位测量：CD33 - L30 属于镜面反射型传感器，可用于测量机器人手臂上晶圆的定位。即使对于像晶圆这样的镜面物体，也能实现精确的定位测量。配合 UQ1 - 02 作为控制器，可轻松连接到三菱电机 Melsec - Q 系列模块，且使用专用的 UQ1 导航设置软件，方便用户在使用多个传感器时进行计算设置，提高了晶圆在生产过程中的定位精度。

位移传感器 CD5 - W500

测量真空腔中金属框架翘曲：CD5 - W500 的测量范围为 500±200mm，可在腔外远距离测量半导体框架的翘曲，有助于监测真空腔中金属框架的变形情况，确保半导体制造过程中相关设备的稳定性和精度。

漫反射型光电传感器的工作原理是基于光的反射特性来检测物体的存在或位置，具体如下：

发射与接收：传感器由发射器和接收器组成。发射器会发出一束光，通常是红外线或可见光，光束以一定的角度向周围空间发散。当光束遇到物体时，部分光线会被物体表面反射回来。接收器则负责接收反射光。

检测判断：接收器接收到的反射光强度会因物体的距离、表面材质、颜色等因素而有所不同。当没有物体在检测范围内时，接收器接收到的光强较弱，主要是环境光以及发射器发出的光在空气中散射后被接收器接收到的部分。当有物体进入检测范围时，物体表面反射的光会使接收器接收到的光强显著增加。传感器内部的电路会将接收到的光信号转换为电信号，并与预设的阈值进行比较。如果电信号强度超过阈值，传感器就会判断有物体存在，并输出相应的信号，告知控制系统物体已被检测到。

不同类型的漫反射型光电传感器在具体性能和应用上会有所差异，但基本的工作原理都是基于对物体反射光的检测和分析来实现物体检测功能。