松下 Panasonic测量和测量系统的优势

松下测量和测量系统的优势

高标准的三维测量机UA3P可以适应许多领域。

超高精度测量（实现单纳米可重复性）

使用接触测量（旋转对称的非球面和自由形式表面）的绝对形状评估

复杂形状的灵活的NC路径

从测量数据（例如Zerinike Anallys）中实现各种分析

还可以评估表面和外部形状之间的偏心率（例如，非球面，自由形式的表面，晶圆镜片）

即使在复杂的形状中也可以测量表面粗糙度

可以在没有设计公式的情况下进行测量和评估

使用CAD数据评估

通过自动测量进行工作水平和劳动节省

松下测量和测量系统的功能

松下 Panasonic测量和测量系统协调测量技术

测量机的坐标系由独立于阶段的三个参考平面（镜子）组成，每个XYZ轴都使用激光干涉仪，使用频率稳定的HE-NE激光作为光源来测量0.3 nm的分辨率。这降低了舞台的平方和直率的影响，从而实现了高精度的测量。

坐标轴引起的测量误差：在0.05μm内（高达100毫米），在0.3μm以内（高达500 mm）

协调测量技术

测量探针

通过超低测量力，可以对测量物体进行高精度扫描测量。

手写笔由微型空气滑块持有，焦点激光器检测出手写笔的运动，并根据测量对象的形状遵循AFP的位置，以使测量力是恒定的。

测量力：0.15-0.30 MN（15-30 mgf） *UA3P-3100/4000为0.05-0.30 MN，UA3P-5000H为0.10-0.30 MN

手写笔：角度30度，r =2μm钻石手写笔可以使用

测量探针

核心软件技术

通过简单操作实现高精度测量。它可以处理任何设计信息，并且可以通过以三维方式纠正测量对象的安装错误来进行准确的形状测量。