美国honeywell气体质量流量传感器

简要描述：美国honeywell气体质量流量传感器概述
AWM40000系列气体质量流量传感器，放大，流量/压力范围：+ 1000 SCCM；接口类型：岐管。
AWM40000系列气流传感器基于成熟的微桥技术，包括未放大的仅传感器设备和放大的信号调节设备。
微桥气体质量流量传感器的工作原理是热传递。气体质量流量经引导流过传感元件的表面。输出电压与流过封装进出口的空气或其他气体质量成正比。

产品型号：AWM43300V

所属分类：honeywell传感器

更新时间：2023-10-26

详情介绍

美国honeywell气体质量流量传感器产品描述：

该传感器具有基于*微结构技术的*硅芯片。它由一个薄膜，热隔离的桥式结构组成，该结构包含加热器和温度感应元件。桥结构能够快速灵敏地响应流过芯片的空气或其他气体气流。中心加热元件双面的双传感元件还能指示气流流过的方向和速率。

专门设计的外壳可精地引导和控制穿过微结构传感元件的气流。封装的机械设计能够轻松地将其安装在印刷电路板上。

激光微调的厚膜和薄膜电阻器可在一台设备与另一台设备之间提供一致的互换性。这些电阻呈现悬浮状态，在硅片的刻蚀腔上方形成两座桥。微桥气体质量流量传感器利用包裹在氮化硅薄膜中的热电阻。

通过蚀刻流量传感器桥下的空腔空间，可实现加热器和感应电阻的高效，热隔离。

双惠斯通电桥控制气流测量-一个提供闭环加热器控制，另一个包含双重传感元件。

加热器电路将加热器温度保持在高于环境空气温度的恒定差（160°C）的恒定差（160°C）处，该温度由热量感测到。芯片上的沉电阻。装置的输出与电源电压成比例，也与惠斯通电桥电路的差分电压相对应。

未放大的版本需要加热器控制电路和感测电桥供电电路才能按照规范进行操作。差分放大器电路在提供输出增益和/或向传感器输出引入电压偏移时可能会很有用。放大版本的板上电路可用于增加输出增益并引入电压偏移。（有关更多电路信息，请参见产品数据表和安装说明。）

美国honeywell气体质量流量传感器技术规格：

系列名称	AWM40000
流量/压力范围	+ 1000 SCCM
整个温度范围内的零位	大±0.025 Vdc
可重复性	大读数的±0.50％
响应时间	典型值1 ms，短期3 ms
接口类型	岐管
实力	大60兆瓦
补偿温度范围	不适用
介质兼容性	仅干燥气体
冲击	100 g前端（5次下降，6轴）
备注	氮校准气体
UNSPSC商品	41111931流量传感器

信号调节	放大
调整点的输出电压	1000 SCCM时5 Vdc±0.15 Vdc
输出温漂	-5.0％大读数至+ 6.0％读数大值
零位	1伏直流电±0.05伏直流电
电源电压	小8.000 Vdc，大15.000 Vdc
共模压力	150磅/平方英寸
工作温度	-25°C至85°C [-13°F至185°F]
储存温度	-40°C至90°C [-40°F至194°F]
重量	17.5克[0.62盎司]
货源
UNSPSC代码	41111931