Kashiyama工业株式会社的干式真空泵有哪些特点？

Kashiyama 工业株式会社的干式真空泵具有以下特点：

运行可靠：采用特殊设计，旋叶和旋叶及旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，能保证设备长期稳定工作。

维护成本低：在只抽取空气和氮气的情况下，只需六年维护一次，延长了设备的使用年限，降低了使用成本。

空间需求小：采用空冷式方式，不需要配置冷却水，可节省空间。

水蒸气处理能力强：采用气镇结构，可以排出所吸取的水蒸气，部分型号相较于前代产品有 10% 的水蒸气排出性能提升（36G 除外）。

宽电压范围：电压可在 100V 和 200V 之间自由切换，能适应不同的电力环境。

数据通信与控制功能：采用 IEC 电源连接器，可通过 RS485 接口进行数据通信和速度控制，方便用户对设备进行监控和管理。

符合相关标准：符合谐波标准，满足数据谐波发射要求，具有良好的电磁兼容性。

无油无污染：采用无油干式技术，螺杆式 / 爪式转子结构通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，避免油蒸气污染，适合对洁净度要求高的敏感工艺，如晶圆加工。

耐腐蚀：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，能耐受酸性气体（如 HCl、Cl₂）和颗粒物，可用于处理腐蚀性气体的场合。

节能高效：采用变频驱动（VFD）调节转速，能耗较油封泵降低 30% - 50%，在保证性能的同时降低了能源消耗。

智能控制与监控：具备实时参数显示功能，真空度、温度、功耗等数据可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出；还拥有自诊断系统，振动、温度传感器能预警异常，如过载或异物进入时会自动停机保护，确保设备安全运行。

低噪音、低振动：运行时噪音值低，振动小，不会对工作环境造成较大干扰，适用于对噪音和振动要求较高的场所，如实验室、医疗设备等。

抽速范围广：抽速范围为 10 - 1,500m³/h，极限真空可达 0.1Pa（0.001mbar），可以满足不同应用场景对抽气速度和真空度的要求。

干式真空泵通过 机械部件的精密运动（如转子、螺杆、爪式等）在泵腔内形成容积变化，从而实现气体的吸入、压缩和排出。与传统油封式真空泵不同，其内部无需润滑油密封或冷却，因此避免了油蒸气对系统的污染，也省去了频繁换油和处理废油的维护工作。

二、核心类型及特点

根据结构设计，干式真空泵主要分为以下几类，各有技术优势：

1. 螺杆式干式真空泵

结构：由一对相互啮合的螺杆转子（阳螺杆、阴螺杆）组成，转子表面通常涂覆耐腐蚀涂层（如陶瓷、特氟龙）。

特点：

抽速范围广（100 - 1500 m³/h），极限真空可达 0.1 Pa，适合大流量、高真空度需求（如半导体薄膜沉积）。

转子无接触，磨损小，寿命长，可处理含粉尘或腐蚀性气体（如刻蚀工艺中的 Cl₂、SF₆）。

能耗较低，变频驱动可根据负载调节转速。

2. 爪式干式真空泵

结构：由多个爪形转子按一定相位排列，通过旋转形成容积变化。

特点：

转子间隙小，压缩比高，极限真空可达 1 Pa，适合中等真空度场景（如光伏电池制造）。

运行时噪音低、振动小，适合实验室或对环境要求高的车间。

对水蒸气和少量液体有一定耐受性（如气镇结构可排出水蒸气）。

3. 涡旋式干式真空泵

结构：由一个固定涡旋盘和一个旋转涡旋盘嵌套组成，通过偏心旋转形成气体压缩腔。

Kashiyama工业株式会社的干式真空泵特点：

结构紧凑，体积小，适合空间有限的场景（如小型半导体设备）。

抽速相对较低（10 - 100 m³/h），极限真空约 10 Pa，常用于低真空度的气体抽取（如真空包装、物料输送）。

4. 活塞式干式真空泵

结构：通过活塞在气缸内往复运动实现气体压缩，缸壁采用自润滑材料（如石墨）。

抽速稳定，适合处理不含颗粒的清洁气体（如制药行业的真空干燥）。

维护相对简单，但转速较低，极限真空约 100 Pa，应用场景较局限。